以下に、各耐蝕材メーカーが出している耐蝕表をまとめます。
メーカーにより多少違いもあり、これらは参考値であって保証できるものではありません。現実のガスに対する耐蝕性の最終判断はユーザー殿にしかできませんので、独自に確認して下さい。
注１）
以下の耐蝕表は、浸漬テストを基にしているものとみられます。即ち、静止状態における耐蝕性であり、真空ポンプ内では流動状態であり、そして特に回転体要部ではこれらの表を割引して評価する必要があります。
注２）
この耐蝕表は、常温のデータです。
注３）
カーボンは、含浸材を使うことによって、ほとんど全てに対応できます。また、古くからスチームエゼクターや熱交換器に使われているため、実績も数多くあります。
但し、カーボンは真空ポンプには使えません。

耐蝕材、耐蝕表